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					高效電池智造裝備高效組件智造裝備智慧港口				
      
                    
                
      
                
                
      
                    
                     
      
                    
                    
      
                        
      板式PECVD上下料機
      
                        
      
                            
                            產品特點
                        
      
                        
      
                            
      最高產能可達到6000pcs/h 
      可根據客戶需求進行定制 
      設備結構簡單穩定
                              
      
                    
      
                    
                    
      
                    
      
                        
      
                            
                            
                        
      
                        
      
                            
      技術參數
      技術參數相關參數
      產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
      碳框尺寸 
      10*10（5*5，5*6，8*10,9*10 可選）
      硅片尺寸 
      166mm-210mm
      碎片率  ≤0.02%
      開機率≥98%
      功率15kW
      耗氣量500L/min
      具體參數如有變動，本公司不另行通知！
                              
      
                    
      
                    
              
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